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MOOG伺服閥是在伺服系統(tǒng)中將電信號輸入轉(zhuǎn)換為功率較大的壓力或流量壓力信號輸出的執(zhí)行元件。它是一種電液轉(zhuǎn)換和功率放大元件。穆格MOOG伺服閥的靈敏度高，快速性好，能將很小的電信號（例如10毫安）轉(zhuǎn)換成很大的液壓功率（如幾十匹馬力以上），可以驅(qū)動多種類型的負(fù)載。過去人們曾把噴嘴檔板閥、射流管或滑閥伺服馬達(dá)等液壓放大裝置都列入伺服閥范圍內(nèi)。
MOOG伺服閥技術(shù)誕生是液壓控制技術(shù)和液壓控制系統(tǒng)的發(fā)展的結(jié)果。
液壓控制技術(shù)的歷史最早可追溯到公元前240年，當(dāng)時一位古埃及人發(fā)明了人類第一個液壓伺服系統(tǒng)——水鐘。然而在隨后漫長的歷史階段，液壓控制技術(shù)一直裹足不前，直到18世紀(jì)末19世紀(jì)初，才有一些重大進(jìn)展。在二戰(zhàn)前夕，隨著工業(yè)發(fā)展的需要，液壓控制技術(shù)出現(xiàn)了突飛猛進(jìn)地發(fā)展，許多早期的控制閥原理及均是這一時代的產(chǎn)物。如：Askania調(diào)節(jié)器公司及Askania-Werke發(fā)明及申請了射流管閥原理的。同樣Foxboro發(fā)明了噴嘴擋板閥原理的。而德國Siemens公司發(fā)明了一種具有永磁馬達(dá)及接收機械及電信號兩種輸入的雙輸入閥，并開創(chuàng)性地使用在航空領(lǐng)域。
在二戰(zhàn)末期，MOOG伺服閥是用螺線管直接驅(qū)動閥芯運動的單級開環(huán)控制閥。然隨著控制理論的成熟及軍事應(yīng)用的需要，MOOG伺服閥的研制和發(fā)展取得了巨大成就。 1946年，英國Tinsiey獲得了兩級閥的；Raytheon和Bell航空發(fā)明了帶反饋的兩級閥；MIT用力矩馬達(dá)替代了螺線管使馬達(dá)消耗的功率更小而線性度更好。1950年，W.C.Moog第一個發(fā)明了單噴嘴兩級MOOG伺服閥。1953年至1955年間，T.H.Carson發(fā)明了機械反饋式兩級MOOG伺服閥；W.C.Moog發(fā)明了雙噴嘴兩級MOOG伺服閥；Wolpin發(fā)明了干式力矩馬達(dá)，消除了原來浸在油液內(nèi)的力矩馬達(dá)由油液污染帶來的可靠性問題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩級射流管MOOG伺服閥。并于1959年研制了三級電反饋MOOG伺服閥。
MOOG伺服閥原理
典型的伺服閥由永磁力矩馬達(dá)、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。當(dāng)輸入線圈通入電流
時，檔板向右移動，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動。高壓油從S流向C2，送到負(fù)載。負(fù)載回油通過 C1流過回油口，進(jìn)入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達(dá)的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達(dá)的差動電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。
MOOG D661-4033/ C41156-421 P80HAAF6VSX2-A
MOOG D661-4059/C41156-411 P80HAAF6VSX2-B
MOOG D661-4444C/C41156-421 G60JOAA6VSX2HA
MOOG D661-4443C/C41156-421 G45J0AA6VSX2HA
MOOG D661-4506C/C41156-421 G23J0AA6VSX2HA
MOOG D661-4539C/C41156-421 G35JOAA5VSX2HA
MOOG D662Z4311K/D630-072A P01JXMF6VSX2-A
MOOG D662-4010/D061-8411 D02HABF6VSX2-A
MOOG D662Z4336K/D630-272D P01JXMF6VSX2-A
